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ラム　リサーチ　コーポレーション

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ラム　リサーチ　コーポレーションの商標一覧

公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特許 7454509	基板処理システムのモデルベースの制御	2024年 3月22日
特許 7454600	移動可能エッジリングおよびガス注入調節によるウエハ上ＣＤ均一性の制御	2024年 3月22日
特許 7453958	チャンバからＳｎＯ２膜を洗浄するための方法	2024年 3月21日
特許 7453149	セラミックベースプレートを備えるマルチプレート静電チャック	2024年 3月19日
特許 7450609	フィデューシャルフィルタリング自動ウエハセンタリングプロセスおよび関連するシステム	2024年 3月15日
特許 7447087	エッジリング部品番号をスロット番号にマッピングするための識別子の使用	2024年 3月11日
特許 7447093	準安定活性ラジカル種を使用する原子層処置プロセス	2024年 3月11日
特許 7444787	構成可能な分散インターロック－システム	2024年 3月 6日
特許 7442499	改善されたチャンバ整合のためのハイブリッド流量計測	2024年 3月 4日
特許 7442582	プラズマチャンバ内で使用するためのリング構造およびシステム	2024年 3月 4日
特許 7441819	制御されたエッチングのための単一エネルギイオン生成	2024年 3月 1日
特許 7441221	エッジリングリフトを用いた動的シース制御	2024年 2月29日
特許 7440488	半導体基板処理におけるペデスタルへの蒸着の防止	2024年 2月28日
特許 7440592	最適化された低エネルギ／高生産性の蒸着システム	2024年 2月28日
特許 7439229	シャワーヘッドチルト機構	2024年 2月27日

154 件中 121-135 件を表示

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7454509 7454600 7453958 7453149 7450609 7447087 7447093 7444787 7442499 7442582 7441819 7441221 7440488 7440592 7439229

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