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■ 2019年 出願公開件数ランキング 第396位 96件
(2018年:第424位 80件)
■ 2019年 特許取得件数ランキング 第322位 84件
(2018年:第275位 105件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特許 6572863 | シリコンウェーハの製造方法 | 2019年 9月11日 | |
特許 6573216 | 気相成長装置及びエピタキシャルウェーハの製造方法 | 2019年 9月11日 | |
特許 6569640 | ボックスの管理方法及びエピタキシャルウェーハの製造方法 | 2019年 9月 4日 | |
特許 6565658 | エピタキシャルウェーハの製造方法及びエピタキシャル成長装置 | 2019年 8月28日 | |
特許 6566112 | 両面研磨方法及び両面研磨装置 | 2019年 8月28日 | |
特許 6558308 | シリコンウェーハの高感度欠陥評価方法およびシリコン単結晶の製造方法 | 2019年 8月14日 | |
特許 6558355 | SOIウェーハの製造方法 | 2019年 8月14日 | |
特許 6559601 | 検出装置及び検出方法 | 2019年 8月14日 | |
特許 6555217 | シリコンウェーハの熱処理方法及びシリコンウェーハの製造方法 | 2019年 8月 7日 | |
特許 6547614 | シリコン結晶の金属不純物分析方法及び評価方法 | 2019年 7月24日 | |
特許 6547677 | 単結晶と原料融液との間の固液界面高さを求める方法及び単結晶の製造方法 | 2019年 7月24日 | |
特許 6547702 | 半導体装置の製造方法及び半導体装置の評価方法 | 2019年 7月24日 | |
特許 6544275 | シリコン単結晶の加工方法 | 2019年 7月17日 | |
特許 6536345 | 単結晶製造装置及び融液面位置の制御方法 | 2019年 7月 3日 | |
特許 6536502 | パーティクルカウンタ校正用ウェーハの作製方法 | 2019年 7月 3日 |
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6572863 6573216 6569640 6565658 6566112 6558308 6558355 6559601 6555217 6547614 6547677 6547702 6544275 6536345 6536502
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