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カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー

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カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハーの商標一覧

公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特許 6698063	リソグラフィ装置及びデバイス製造方法	2020年 5月27日
特許 6698068	マルチミラー配置内の複数の調節可能ミラー要素の位置決めを制御するためのデバイス及び方法	2020年 5月27日
特許 6694508	マイクロリソグラフィ投影デバイスの照明系及びそのような系を作動させる方法	2020年 5月13日
特許 6688219	物体視野を像視野内に結像するための投影光学ユニット及びそのような投影光学ユニットを含む投影露光装置	2020年 4月28日
特許 6691105	ＥＵＶ投影リソグラフィのための照明光学ユニット	2020年 4月28日
特許 6683688	投影リソグラフィのための照明光学アセンブリ	2020年 4月22日
特許 6683706	リソグラフィ装置用のミラー及びリソグラフィ装置	2020年 4月22日
特許 6684284	放射線源モジュール	2020年 4月22日
特許 6684918	投影露光装置及び投影レンズを測定する方法	2020年 4月22日
特許 6685916	光学素子及び光学素子を備えた光学装置	2020年 4月22日
特許 6679597	反射光学素子を製造する方法、反射光学素子および反射光学素子の使用	2020年 4月15日
特許 6680536	エタンデュを増大させるための光学組立体	2020年 4月15日
特許 6677748	走査プローブ顕微鏡のプローブを受け入れるためのプローブシステム及び方法	2020年 4月 8日
特許 6678159	投影露光系のための照明装置	2020年 4月 8日
特許 6674465	極紫外波長範囲のためのマスクを生成する方法、マスク、及びデバイス	2020年 4月 1日

56 件中 31-45 件を表示

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6698063 6698068 6694508 6688219 6691105 6683688 6683706 6684284 6684918 6685916 6679597 6680536 6677748 6678159 6674465

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