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■ 2020年 出願公開件数ランキング 第802位 35件
(2019年:第696位 45件)
■ 2020年 特許取得件数ランキング 第450位 55件
(2019年:第385位 68件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特許 6742322 | ミラー検査用の検査装置および方法 | 2020年 8月19日 | |
特許 6738323 | 投影リソグラフィのための照明光学ユニット | 2020年 8月12日 | |
特許 6739576 | 反射光学素子及びマイクロリソグラフィ投影露光装置の光学系 | 2020年 8月12日 | |
特許 6734872 | 質量分析によりガスを検査するための方法および質量分析計 | 2020年 8月 5日 | |
特許 6730197 | ニアフィールドマニピュレータを有する投影露光装置 | 2020年 7月29日 | |
特許 6731415 | EUV多層ミラー、多層ミラーを含む光学系及び多層ミラーを製造する方法 | 2020年 7月29日 | |
特許 6731470 | リソグラフィ露光装置のミラー構成体及びミラー構成体を含む光学系 | 2020年 7月29日 | |
特許 6728131 | 光学素子の傾斜 | 2020年 7月22日 | |
特許 6722232 | ミラー | 2020年 7月15日 | |
特許 6722655 | 反射光学素子 | 2020年 7月15日 | |
特許 6717990 | イオン化装置およびそれを有する質量分析計 | 2020年 7月 8日 | |
特許 6718818 | 照明系 | 2020年 7月 8日 | |
特許 6715241 | マイクロリソグラフィ投影露光装置の光学系 | 2020年 7月 1日 | |
特許 6714595 | EUVマイクロリソグラフィのための投影レンズ、投影露光装置、及び投影露光方法 | 2020年 6月24日 | |
特許 6703944 | EUV投影リソグラフィのための照明光学系及び照明系 | 2020年 6月 3日 |
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6742322 6738323 6739576 6734872 6730197 6731415 6731470 6728131 6722232 6722655 6717990 6718818 6715241 6714595 6703944
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9月12日(金) -
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