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カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー

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  2020年 出願公開件数ランキング    第802位 35件 下降2019年:第696位 45件)

  2020年 特許取得件数ランキング    第450位 55件 下降2019年:第385位 68件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 6664394 位置測定装置、及び測定対象物の位置を測定する方法 2020年 3月13日
特許 6660471 マイクロリソグラフィ投影露光システムまたはウェハ検査システムの光学系 2020年 3月11日
特許 6663407 ガス混合物の質量分析試験のための方法および質量分析計 2020年 3月11日
特許 6652948 マイクロリソグラフィ投影露光装置の照明システム 2020年 2月26日
特許 6655545 投影リソグラフィのための照明光学ユニット 2020年 2月26日
特許 6650400 EUV光学系の試験デバイス 2020年 2月19日
特許 6650452 ミラー、特にマイクロリソグラフィ用のコレクタミラー 2020年 2月19日
特許 6643273 フォトリソグラフィマスクまたはウェハの欠陥を分析するためのデバイスおよび方法 2020年 2月12日
特許 6643466 マイクロリソグラフィ投影装置を動作させる方法およびそのような装置の照明システム 2020年 2月12日
特許 6629300 ミラー機構及びミラー機構から熱流を放散する方法 2020年 1月15日
特許 6630684 高アスペクト比を有する面を検査するための走査プローブ顕微鏡及び方法 2020年 1月15日

56 件中 46-56 件を表示

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6664394 6660471 6663407 6652948 6655545 6650400 6650452 6643273 6643466 6629300 6630684

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