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カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー

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  2023年 出願公開件数ランキング    第628位 47件 下降2022年:第561位 54件)

  2023年 特許取得件数ランキング    第631位 40件 上昇2022年:第709位 35件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特表 2023-541664 試料を粒子線で分析および/または処理するための装置および方法 2023年10月 3日
特表 2023-541666 試料を粒子線で分析および/または処理するための装置および方法 2023年10月 3日
特開 2023-134527 リソグラフィ装置の光学素子の位置測定 2023年 9月27日
特表 2023-539612 放射劣化からの光学部品の光学材料の保護 2023年 9月15日
特開 2023-129405 フォトマスクを測定するための方法 2023年 9月14日
特開 2023-127582 マスク修復のための方法および装置 2023年 9月13日
特表 2023-538620 反射光学素子、照明光学ユニット、投影露光装置、及び保護層を作成する方法 2023年 9月 8日
特表 2023-537352 リソグラフィマスクをエッチングするための方法および装置 2023年 8月31日
特表 2023-535619 光学デバイスを含む投影対物系 2023年 8月18日
特表 2023-535625 少なくとも1つの軸に沿って変位可能であり、かつ少なくとも1つの軸を中心に回転可能である試料ステージ上のフォトマスクのアライメントを決定するための方法および装置 2023年 8月18日
特表 2023-534302 リソグラフィマスクの欠陥を修復する方法および装置 2023年 8月 8日
特表 2023-532956 フォトリソグラフィマスクのパターン要素の側壁角を設定するための方法および装置 2023年 8月 1日
特表 2023-532957 EUVコレクタ 2023年 8月 1日
特表 2023-532958 リソグラフィマスクを処理するための方法および装置 2023年 8月 1日
特表 2023-531547 VUV波長域用の光学素子、光学装置、及び光学素子を製造する方法 2023年 7月24日

48 件中 16-30 件を表示

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2023-541664 2023-541666 2023-134527 2023-539612 2023-129405 2023-127582 2023-538620 2023-537352 2023-535619 2023-535625 2023-534302 2023-532956 2023-532957 2023-532958 2023-531547

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