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カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー

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カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハーの商標一覧

公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特表 2023-530521	特にマイクロリソグラフィ投影露光装置のミラー	2023年 7月18日
特表 2023-525347	光学素子を製造する方法	2023年 6月15日
特表 2023-524648	駆動デバイス、光学系、及びリソグラフィ装置	2023年 6月13日
特表 2023-524792	ＥＵＶ波長域用の反射光学素子を製造する方法及びＥＵＶ波長域用の反射光学素子	2023年 6月13日
特表 2023-522747	ファセットミラー用のファセットアセンブリ	2023年 5月31日
特表 2023-520720	ＥＵＶリソグラフィ用マスクを検査するためのシステムおよび方法	2023年 5月18日
特開 2023-64096	結像光学製造システムの目標波面を再生する方法、およびその方法を実施する計測システム	2023年 5月10日
特表 2023-518221	ウェハ中の検査ボリュームの断面画像化の方法	2023年 4月28日
特開 2023-54782	光学素子の表面形状を評価する方法及び装置	2023年 4月14日
特開 2023-44646	ペイロードを支持する防振装置	2023年 3月30日
特表 2023-513338	光学系およびリソグラフィ装置	2023年 3月30日
特開 2023-41036	マイクロリソグラフィフォトマスクの欠陥の粒子ビーム誘起処理のための方法	2023年 3月23日
特表 2023-511891	干渉形状計測用の測定装置	2023年 3月23日
特表 2023-505681	光学素子及びリソグラフィシステム	2023年 2月10日
特表 2023-505682	保護コーティングを有する光学素子、その製造方法及び光学装置	2023年 2月10日

48 件中 31-45 件を表示

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2023-530521 2023-525347 2023-524648 2023-524792 2023-522747 2023-520720 2023-64096 2023-518221 2023-54782 2023-44646 2023-513338 2023-41036 2023-511891 2023-505681 2023-505682

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