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ケーエルエー−テンカー　コーポレイション

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ケーエルエー−テンカー　コーポレイションの商標一覧

公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特許 6846525	１８３ｎｍＣＷレーザ及び検査システム	2021年 3月24日
特許 6846550	電子ビーム画像化装置及び方法	2021年 3月24日
特許 6847129	レーザ維持プラズマ光源のＶＵＶ輻射性放射を阻害するシステム及び方法	2021年 3月24日
特許 6847663	ウェハ検査のためのロジックの中のパターン抑制	2021年 3月24日
特許 6848045	一体化パージガス予熱器を有する光学部品用オーブン筐体	2021年 3月24日
特許 6843160	パターン配置及びパターンサイズ計測装置及び方法、並びにそのためのコンピュータプログラム	2021年 3月17日
特許 6843764	計測ターゲット設計の方法、計測モジュール、及び計測ターゲットの製造方法	2021年 3月17日
特許 6845327	畳み込み式ニューラルネットワークに基づく欠陥検査のためのデータ増強	2021年 3月17日
特許 6840129	ウエハレベル欠陥の転写性を予測する装置および方法	2021年 3月10日
特許 6840224	大粒子監視及びレーザパワー制御を伴う表面欠陥検査	2021年 3月10日
特許 6832957	欠陥検査用レシピ選択方法及びシステム	2021年 2月24日
特許 6833027	検査関連アルゴリズムのセットアップに用いられる訓練集合の最適化	2021年 2月24日
特許 6833822	画像を用いたモデル依拠計量	2021年 2月24日
特許 6830478	半導体ウエハ検査のためのイメージング性能を最適化する方法	2021年 2月17日
特許 6830492	分光ビームプロファイルオーバーレイ計測	2021年 2月17日

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6846525 6846550 6847129 6847663 6848045 6843160 6843764 6845327 6840129 6840224 6832957 6833027 6833822 6830478 6830492

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