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ケーエルエー−テンカー コーポレイション

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  2022年 出願公開件数ランキング    第296位 118件 上昇2021年:第424位 82件)

  2022年 特許取得件数ランキング    第335位 90件 下降2021年:第239位 120件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特表 2022-527829 設定可能焦点オフセットによって試料表面を追跡するための自動焦点調節システム 2022年 6月 6日
特開 2022-81498 高さ計測装置及び方法 2022年 5月31日
特表 2022-527217 接地されたサンプル近接静電容量センサを有する検査システム 2022年 5月31日
特表 2022-526933 改善された計量用自己モアレ格子デザイン 2022年 5月27日
特表 2022-526994 Z高さの絶対値を利用したツール間の相乗効果 2022年 5月27日
特開 2022-79538 多入射角半導体計測システム及び方法 2022年 5月26日
特表 2022-526748 半導体デバイスにおけるパラメタ安定位置ずれ計測改善 2022年 5月26日
特表 2022-526625 確率的レチクル欠陥処理 2022年 5月25日
特表 2022-525620 光学分散の多次元モデル 2022年 5月18日
特表 2022-525655 背表面粗さを前側オーバレイに変換するシステム及び方法 2022年 5月18日
特表 2022-525123 半導体処理装置における希ガスの収集とリサイクル 2022年 5月11日
特開 2022-65040 測定方法 2022年 4月26日
特表 2022-523692 プロセス変動に対する計量感度を定量するためのスケーリング指標 2022年 4月26日
特表 2022-523492 モアレターゲット及びそれを用い半導体デバイスの位置ずれを計測する方法 2022年 4月25日
特表 2022-523033 共配置計量方法及びシステム 2022年 4月21日

118 件中 61-75 件を表示

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2022-527829 2022-81498 2022-527217 2022-526933 2022-526994 2022-79538 2022-526748 2022-526625 2022-525620 2022-525655 2022-525123 2022-65040 2022-523692 2022-523492 2022-523033

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