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■ 2024年 出願公開件数ランキング 第302位 95件 (2023年:第332位 104件)
■ 2024年 特許取得件数ランキング 第298位 86件 (2023年:第345位 92件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特表 2024-523051 | 極端紫外線検査システムにおける汚染を軽減するための対向流ガスノズル | 2024年 6月26日 | |
特表 2024-522044 | 二次電子および後方散乱電子を検出するためのスルーホールを備えた分割型マルチチャンネル裏面照射型ソリッドステート検出器 | 2024年 6月11日 | |
特表 2024-522045 | 画像アップサンプリングを伴う光学的ウェハ特性評価のシステムおよび方法 | 2024年 6月11日 | |
特開 2024-74838 | オーバレイ計量の性能拡張 | 2024年 5月31日 | |
特表 2024-521276 | 高圧レーザー維持プラズマランプの製造方法 | 2024年 5月31日 | |
特開 2024-69374 | 計測システム及び計測方法 | 2024年 5月21日 | |
特表 2024-519645 | 高抵抗率試験試料を測定する方法 | 2024年 5月21日 | |
特表 2024-519648 | インライン欠陥部分平均試験を使用する適応的半導体試験のためのシステムおよび方法 | 2024年 5月21日 | |
特表 2024-519569 | 検査ツールにおける側方剪断干渉測定のシステムおよび方法 | 2024年 5月17日 | |
特表 2024-518226 | マルチ分解能オーバーレイ計測ターゲット | 2024年 5月 1日 | |
特表 2024-518237 | オーバーレイ計測用の傾斜照明 | 2024年 5月 1日 | |
特表 2024-517545 | 高スループットのマルチ電子ビームシステム | 2024年 4月23日 | |
特表 2024-517052 | 熱膨張によるミスマッチの緩和するプロセス状態検出装置および方法 | 2024年 4月19日 | |
特表 2024-517055 | 半導体デバイスウエハのための改良されたメトロロジーについてのシステムおよび方法 | 2024年 4月19日 | |
特表 2024-516921 | 製品上オーバレイターゲット | 2024年 4月18日 |
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2024-523051 2024-522044 2024-522045 2024-74838 2024-521276 2024-69374 2024-519645 2024-519648 2024-519569 2024-518226 2024-518237 2024-517545 2024-517052 2024-517055 2024-516921
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