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エーエスエムエル　ネザーランズ　ビー．ブイ．

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エーエスエムエル　ネザーランズ　ビー．ブイ．の商標一覧

公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特許 7438388	荷電粒子ビーム検査における電荷蓄積低減に基づく画像向上	2024年 2月26日
特許 7436446	マスクアセンブリ及び関連する方法	2024年 2月21日
特許 7434443	半導体検出器及びこれを製造する方法	2024年 2月20日
特許 7432707	荷電粒子ビームシステムにおいてレベル変動を測定するための自己示差共焦点傾斜センサ	2024年 2月16日
特許 7431829	位置決めデバイス、剛性低減デバイス及び電子ビーム装置	2024年 2月15日
特許 7431319	リソグラフィプロセスのサブフィールド制御及び関連する装置	2024年 2月14日
特許 7431349	荷電粒子装置用の交換可能モジュール	2024年 2月14日
特許 7430748	エキシマ光源におけるスペックルの低減	2024年 2月13日
特許 7430194	検査装置、リソグラフィ装置及び測定方法	2024年 2月 9日
特許 7430233	リソグラフィ装置で使用するための基板ホルダ	2024年 2月 9日
特許 7428654	液滴発生器性能を監視及び制御する装置及び方法	2024年 2月 6日
特許 7427740	複数の荷電粒子ビームを使用する装置	2024年 2月 5日
特許 7427794	荷電粒子操作デバイス	2024年 2月 5日
特許 7425095	熱機械アクチュエータ	2024年 1月30日
特許 7425213	荷電粒子システムにおける流体移送システム	2024年 1月30日

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7438388 7436446 7434443 7432707 7431829 7431319 7431349 7430748 7430194 7430233 7428654 7427740 7427794 7425095 7425213

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