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東京エレクトロン株式会社

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  2017年 出願公開件数ランキング    第83位 585件 下降2016年:第61位 616件)

  2017年 特許取得件数ランキング    第66位 431件 下降2016年:第49位 561件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 6154820 プラズマ処理方法及びプラズマ処理装置 2017年 6月28日
特許 6150506 成膜方法 2017年 6月21日
特許 6150724 凹部を充填する方法 2017年 6月21日
特許 6151204 接合方法および接合システム 2017年 6月21日
特許 6151215 プラズマエッチング方法 2017年 6月21日
特許 6145415 剥離方法、プログラム、コンピュータ記憶媒体、剥離装置及び剥離システム 2017年 6月14日
特許 6146160 成膜方法、記憶媒体及び成膜装置 2017年 6月14日
特許 6148210 現像方法及びコンピュータ読み取り可能な記録媒体 2017年 6月14日
特許 6148991 基板処理装置、編集方法及び記憶媒体 2017年 6月14日
特許 6149139 成膜方法、プログラム、コンピュータ記憶媒体及び成膜システム 2017年 6月14日
特許 6141144 基板処理方法、プログラム、コンピュータ記憶媒体及び基板処理システム 2017年 6月 7日
特許 6141212 処理液ノズル及び塗布処理装置 2017年 6月 7日
特許 6141855 プラズマエッチング方法及びプラズマエッチング装置 2017年 6月 7日
特許 6142059 基板処理方法、基板処理システムおよび記憶媒体 2017年 6月 7日
特許 6142629 原料ガス供給装置、成膜装置及び原料ガス供給方法 2017年 6月 7日

440 件中 211-225 件を表示

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6154820 6150506 6150724 6151204 6151215 6145415 6146160 6148210 6148991 6149139 6141144 6141212 6141855 6142059 6142629

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