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東京エレクトロン株式会社

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東京エレクトロン株式会社の商標一覧

公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特許 6142839	液処理方法、液処理装置、記憶媒体	2017年 6月 7日
特許 6144236	基板処理方法、記憶媒体及び基板処理装置	2017年 6月 7日
特許 6144300	グラフェン製造方法、グラフェン製造装置及びグラフェン製造システム	2017年 6月 7日
特許 6144902	マイクロ波放射アンテナ、マイクロ波プラズマ源およびプラズマ処理装置	2017年 6月 7日
特許 6144917	プラズマ処理装置及びプラズマ処理装置の運転方法	2017年 6月 7日
特許 6145032	有機単分子膜の形成方法および形成装置	2017年 6月 7日
特許 6145060	接合方法、接合システムおよび接合装置	2017年 6月 7日
特許 6145061	接合システムおよび接合方法	2017年 6月 7日
特許 6145065	基板処理方法、基板処理装置及び記録媒体	2017年 6月 7日
特許 6145279	ガス導入配管接続構造及びこれを用いた熱処理装置	2017年 6月 7日
特許 6135455	プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法	2017年 5月31日
特許 6135475	ガス供給装置、成膜装置、ガス供給方法及び記憶媒体	2017年 5月31日
特許 6135617	基板処理装置、クリーニング用治具、基板処理装置のパーティクルの除去方法及び記憶媒体	2017年 5月31日
特許 6136613	プラズマ処理方法	2017年 5月31日
特許 6137994	デバイス検査方法	2017年 5月31日

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6142839 6144236 6144300 6144902 6144917 6145032 6145060 6145061 6145065 6145279 6135455 6135475 6135617 6136613 6137994

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