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東京エレクトロン株式会社

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  2017年 出願公開件数ランキング    第83位 585件 下降2016年:第61位 616件)

  2017年 特許取得件数ランキング    第66位 431件 下降2016年:第49位 561件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 6120791 剥離方法、プログラム、コンピュータ記憶媒体、剥離装置及び剥離システム 2017年 4月26日
特許 6121299 自動培養システム及び自動培養装置 2017年 4月26日
特許 6121348 めっきの前処理方法、記憶媒体およびめっき処理システム 2017年 4月26日
特許 6121349 希釈薬液供給装置、基板液処理装置及び流量制御方法 2017年 4月26日
特許 6122666 ホッパー及び溶射装置 2017年 4月26日
特許 6122790 剥離装置および剥離システム 2017年 4月26日
特許 6115244 成膜装置 2017年 4月19日
特許 6117041 液処理方法、液処理装置および記憶媒体 2017年 4月19日
特許 6117588 Cu配線の形成方法 2017年 4月19日
特許 6117724 塗布装置および塗布方法 2017年 4月19日
特許 6117763 プラズマ処理装置 2017年 4月19日
特許 6118102 基板位置検出装置及びこれを用いた基板処理装置、成膜装置 2017年 4月19日
特許 6118149 ルテニウム膜の形成方法および記憶媒体 2017年 4月19日
特許 6118197 成膜方法 2017年 4月19日
特許 6118451 基板洗浄および乾燥のための方法および装置 2017年 4月19日

440 件中 271-285 件を表示

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6120791 6121299 6121348 6121349 6122666 6122790 6115244 6117041 6117588 6117724 6117763 6118102 6118149 6118197 6118451

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