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東京エレクトロン株式会社

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  2023年 出願公開件数ランキング    第31位 722件 下降2022年:第25位 842件)

  2023年 特許取得件数ランキング    第32位 762件 上昇2022年:第38位 690件)

(ランキング更新日:2025年2月21日)筆頭出願人である出願のみカウントしています

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特開 2023-132258 埋込方法及び基板処理装置 2023年 9月22日
特開 2023-132469 成膜装置および成膜方法 2023年 9月22日
特開 2023-132649 基板処理装置および基板処理方法 2023年 9月22日
特開 2023-132650 チップキャリアおよびチップ処理方法 2023年 9月22日
特開 2023-133102 基板処理方法および基板処理装置 2023年 9月22日
特開 2023-133329 基板処理装置、ノズル検査方法、及び、記憶媒体 2023年 9月22日
特開 2023-133341 基板撮像装置及び基板撮像方法 2023年 9月22日
特表 2023-540213 基板を化学的に処理するためのプラズマ処理システム及び方法 2023年 9月22日
特開 2023-130803 処理液供給装置及び処理液供給方法 2023年 9月21日
特開 2023-130880 基板処理室内に配置される部材を搬送する装置、基板処理システム及び前記部材を搬送する方法 2023年 9月21日
特開 2023-129919 基板処理システムおよび基板搬送方法 2023年 9月20日
特開 2023-129999 基板処理装置 2023年 9月20日
特開 2023-130026 埋込方法及び処理システム 2023年 9月20日
特開 2023-130037 基板加熱装置及び基板処理装置 2023年 9月20日
特開 2023-130043 載置台及び基板処理装置 2023年 9月20日

725 件中 181-195 件を表示

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2023-132258 2023-132469 2023-132649 2023-132650 2023-133102 2023-133329 2023-133341 2023-540213 2023-130803 2023-130880 2023-129919 2023-129999 2023-130026 2023-130037 2023-130043

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