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東京エレクトロン株式会社

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  2023年 出願公開件数ランキング    第31位 722件 下降2022年:第25位 842件)

  2023年 特許取得件数ランキング    第32位 762件 上昇2022年:第38位 690件)

(ランキング更新日:2025年2月21日)筆頭出願人である出願のみカウントしています

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特表 2023-539546 ウェーハ間接合のための装置及び方法 2023年 9月15日
特開 2023-127833 基板処理装置 2023年 9月14日
特開 2023-128504 基板搬送方法、および半導体製造システム 2023年 9月14日
特開 2023-128751 絶縁膜の形成方法および基板処理システム 2023年 9月14日
特開 2023-129234 プラズマ処理装置 2023年 9月14日
特開 2023-129235 基板処理システム及び基板処理方法 2023年 9月14日
特開 2023-129244 基板処理装置及び処理液容器交換方法 2023年 9月14日
特開 2023-129681 エッチング方法及びプラズマ処理システム 2023年 9月14日
特表 2023-539512 半導体膜厚を制御する方法 2023年 9月14日
特開 2023-127323 膜の厚さを測定する方法、及び、処理装置 2023年 9月13日
特開 2023-127349 ハードマスク、基板処理方法、およびハードマスクの除去方法 2023年 9月13日
特開 2023-127546 プラズマ処理方法及びプラズマ処理装置 2023年 9月13日
特表 2023-539277 ガスクラスター補助プラズマ処理 2023年 9月13日
特表 2023-538535 半導体デバイス用の、選択された分極を有する誘電体材料を形成する方法 2023年 9月 8日
特開 2023-126270 基板処理方法、基板処理装置及び基板処理システム 2023年 9月 7日

725 件中 196-210 件を表示

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2023-539546 2023-127833 2023-128504 2023-128751 2023-129234 2023-129235 2023-129244 2023-129681 2023-539512 2023-127323 2023-127349 2023-127546 2023-539277 2023-538535 2023-126270

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