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株式会社ニューフレアテクノロジー

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  2017年 出願公開件数ランキング    第450位 88件 下降2016年:第354位 106件)

  2017年 特許取得件数ランキング    第453位 58件 上昇2016年:第493位 56件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 6105367 荷電粒子ビーム描画方法 2017年 3月29日
特許 6097640 マルチ荷電粒子ビーム描画方法及びマルチ荷電粒子ビーム描画装置 2017年 3月15日
特許 6091932 炭化珪素の成膜装置および炭化珪素の成膜方法 2017年 3月 8日
特許 6087108 カソード選別方法 2017年 3月 1日
特許 6087154 荷電粒子ビーム描画装置、試料面へのビーム入射角調整方法、および荷電粒子ビーム描画方法 2017年 3月 1日
特許 6080540 荷電粒子ビーム描画装置 2017年 2月15日
特許 6076708 荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビームの照射量チェック方法 2017年 2月 8日
特許 6065762 炭化珪素半導体成膜装置およびそれを用いた成膜方法 2017年 1月25日
特許 6061741 マルチビームの電流調整方法 2017年 1月18日
特許 6063767 電子線描画装置の故障診断方法、電子線描画装置 2017年 1月18日
特許 6057635 荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビーム描画方法 2017年 1月11日
特許 6057672 荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビーム描画方法 2017年 1月11日
特許 6057700 マルチ荷電粒子ビーム描画装置 2017年 1月11日
特許 6057797 セトリング時間の取得方法 2017年 1月11日

59 件中 46-59 件を表示

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6105367 6097640 6091932 6087108 6087154 6080540 6076708 6065762 6061741 6063767 6057635 6057672 6057700 6057797

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