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■ 2017年 出願公開件数ランキング 第450位 88件
(2016年:第354位 106件)
■ 2017年 特許取得件数ランキング 第453位 58件
(2016年:第493位 56件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特許 6105367 | 荷電粒子ビーム描画方法 | 2017年 3月29日 | |
特許 6097640 | マルチ荷電粒子ビーム描画方法及びマルチ荷電粒子ビーム描画装置 | 2017年 3月15日 | |
特許 6091932 | 炭化珪素の成膜装置および炭化珪素の成膜方法 | 2017年 3月 8日 | |
特許 6087108 | カソード選別方法 | 2017年 3月 1日 | |
特許 6087154 | 荷電粒子ビーム描画装置、試料面へのビーム入射角調整方法、および荷電粒子ビーム描画方法 | 2017年 3月 1日 | |
特許 6080540 | 荷電粒子ビーム描画装置 | 2017年 2月15日 | |
特許 6076708 | 荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビームの照射量チェック方法 | 2017年 2月 8日 | |
特許 6065762 | 炭化珪素半導体成膜装置およびそれを用いた成膜方法 | 2017年 1月25日 | |
特許 6061741 | マルチビームの電流調整方法 | 2017年 1月18日 | |
特許 6063767 | 電子線描画装置の故障診断方法、電子線描画装置 | 2017年 1月18日 | |
特許 6057635 | 荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビーム描画方法 | 2017年 1月11日 | |
特許 6057672 | 荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビーム描画方法 | 2017年 1月11日 | |
特許 6057700 | マルチ荷電粒子ビーム描画装置 | 2017年 1月11日 | |
特許 6057797 | セトリング時間の取得方法 | 2017年 1月11日 |
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6105367 6097640 6091932 6087108 6087154 6080540 6076708 6065762 6061741 6063767 6057635 6057672 6057700 6057797
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