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東京エレクトロン株式会社

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  2021年 特許取得件数ランキング    第45位 515件 上昇2020年:第54位 436件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 6883953 マイクロ波プラズマ処理装置およびマイクロ波プラズマ処理方法 2021年 6月 9日
特許 6884034 オゾン用マスフローコントローラの出力検査方法 2021年 6月 9日
特許 6884191 搬送装置および検査システム 2021年 6月 9日
特許 6884868 多能性幹細胞の未分化状態を判定する方法、多能性幹細胞の継代培養方法およびそれら方法に使用される装置 2021年 6月 9日
特許 6885031 露光装置、露光方法及び記憶媒体 2021年 6月 9日
特許 6879021 塗布膜除去装置、塗布膜除去方法及び記憶媒体 2021年 6月 2日
特許 6879074 液処理装置 2021年 6月 2日
特許 6880664 塗布膜形成装置、塗布膜形成方法及び記憶媒体 2021年 6月 2日
特許 6880913 基板処理装置、基板処理方法及び記憶媒体 2021年 6月 2日
特許 6881010 真空処理装置 2021年 6月 2日
特許 6881120 基板処理装置、基板処理方法及び記憶媒体 2021年 6月 2日
特許 6881273 成膜装置 2021年 6月 2日
特許 6876417 基板処理装置の洗浄方法および基板処理装置の洗浄システム 2021年 5月26日
特許 6876470 ワーク加工装置、ワーク加工方法、プログラム及びコンピュータ記憶媒体 2021年 5月26日
特許 6876487 検査装置、検査方法、機能液吐出装置及び補正方法 2021年 5月26日

520 件中 316-330 件を表示

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6883953 6884034 6884191 6884868 6885031 6879021 6879074 6880664 6880913 6881010 6881120 6881273 6876417 6876470 6876487

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