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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特許 6883953 | マイクロ波プラズマ処理装置およびマイクロ波プラズマ処理方法 | 2021年 6月 9日 | |
特許 6884034 | オゾン用マスフローコントローラの出力検査方法 | 2021年 6月 9日 | |
特許 6884191 | 搬送装置および検査システム | 2021年 6月 9日 | |
特許 6884868 | 多能性幹細胞の未分化状態を判定する方法、多能性幹細胞の継代培養方法およびそれら方法に使用される装置 | 2021年 6月 9日 | |
特許 6885031 | 露光装置、露光方法及び記憶媒体 | 2021年 6月 9日 | |
特許 6879021 | 塗布膜除去装置、塗布膜除去方法及び記憶媒体 | 2021年 6月 2日 | |
特許 6879074 | 液処理装置 | 2021年 6月 2日 | |
特許 6880664 | 塗布膜形成装置、塗布膜形成方法及び記憶媒体 | 2021年 6月 2日 | |
特許 6880913 | 基板処理装置、基板処理方法及び記憶媒体 | 2021年 6月 2日 | |
特許 6881010 | 真空処理装置 | 2021年 6月 2日 | |
特許 6881120 | 基板処理装置、基板処理方法及び記憶媒体 | 2021年 6月 2日 | |
特許 6881273 | 成膜装置 | 2021年 6月 2日 | |
特許 6876417 | 基板処理装置の洗浄方法および基板処理装置の洗浄システム | 2021年 5月26日 | |
特許 6876470 | ワーク加工装置、ワーク加工方法、プログラム及びコンピュータ記憶媒体 | 2021年 5月26日 | |
特許 6876487 | 検査装置、検査方法、機能液吐出装置及び補正方法 | 2021年 5月26日 |
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6883953 6884034 6884191 6884868 6885031 6879021 6879074 6880664 6880913 6881010 6881120 6881273 6876417 6876470 6876487
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