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東京エレクトロン株式会社

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  2021年 特許取得件数ランキング    第45位 515件 上昇2020年:第54位 436件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 6890497 プラズマ処理装置 2021年 6月18日
特許 6890617 気体処理装置および基板処理装置 2021年 6月18日
特許 6890632 データ処理装置、データ処理方法及びプログラム 2021年 6月18日
特許 6886866 減圧乾燥装置 2021年 6月16日
特許 6886940 プラズマ処理方法 2021年 6月16日
特許 6887016 ゲッタリング層形成装置、ゲッタリング層形成方法及びコンピュータ記憶媒体 2021年 6月16日
特許 6887332 検査システム 2021年 6月16日
特許 6887545 半導体システム及びデータ編集支援方法 2021年 6月16日
特許 6887912 基板処理装置、基板処理方法及び記憶媒体 2021年 6月16日
特許 6888120 基板処理装置、基板処理方法及び基板処理方法を実行させるプログラムが記録された記憶媒体 2021年 6月16日
特許 6888393 エッチング装置、エッチング方法及び記憶媒体 2021年 6月16日
特許 6883462 基板処理装置 2021年 6月 9日
特許 6883488 プラズマ処理装置 2021年 6月 9日
特許 6883495 エッチング方法 2021年 6月 9日
特許 6883690 接合装置、接合システム、接合方法及びコンピュータ記憶媒体 2021年 6月 9日

520 件中 301-315 件を表示

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6890497 6890617 6890632 6886866 6886940 6887016 6887332 6887545 6887912 6888120 6888393 6883462 6883488 6883495 6883690

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