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■ 2023年 出願公開件数ランキング 第31位 722件
(2022年:第25位 842件)
■ 2023年 特許取得件数ランキング 第32位 762件
(2022年:第38位 690件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特開 2023-56573 | 測定方法及び基板処理装置 | 2023年 4月20日 | |
特開 2023-56612 | 処理液収容容器、基板処理装置及び基板処理方法 | 2023年 4月20日 | |
特開 2023-56629 | プラズマ処理装置 | 2023年 4月20日 | |
特開 2023-56689 | 分析装置 | 2023年 4月20日 | |
特開 2023-56708 | エッチング処理システム、エッチング品質予測方法及びエッチング品質予測プログラム | 2023年 4月20日 | |
特開 2023-56921 | 載置台、基板処理装置及び基板処理方法 | 2023年 4月20日 | |
特開 2023-56197 | 処理液供給装置及び処理液供給方法 | 2023年 4月19日 | |
特開 2023-56393 | 精製処理装置、基板処理システム及び処理方法 | 2023年 4月19日 | |
特開 2023-56406 | 制御プログラム、制御方法、及びプラズマ処理装置 | 2023年 4月19日 | |
特開 2023-56464 | 接合システムおよび接合方法 | 2023年 4月19日 | |
特開 2023-55293 | プラズマエッチング装置、及びプラズマエッチング方法 | 2023年 4月18日 | |
特開 2023-55335 | エッチング方法及びエッチング装置 | 2023年 4月18日 | |
特開 2023-55564 | ターゲットの製造方法及びスパッタ装置 | 2023年 4月18日 | |
特開 2023-55999 | 基板処理装置および基板処理方法 | 2023年 4月18日 | |
特開 2023-54909 | プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法 | 2023年 4月17日 |
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2023-56573 2023-56612 2023-56629 2023-56689 2023-56708 2023-56921 2023-56197 2023-56393 2023-56406 2023-56464 2023-55293 2023-55335 2023-55564 2023-55999 2023-54909
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2月25日(火) -
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2月26日(水) -
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2月26日(水) -
2月26日(水) - 千葉 船橋市
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2月27日(木) - 東京 港区
2月27日(木) -
2月27日(木) - 東京 千代田区
2月25日(火) -
3月4日(火) - 東京 港区
3月4日(火) -
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3月5日(水) -
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3月6日(木) -
3月6日(木) - 東京 品川区
3月6日(木) - 東京 港区
3月6日(木) -
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3月7日(金) - 東京 港区
3月7日(金) -
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