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東京エレクトロン株式会社

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東京エレクトロン株式会社の商標一覧

公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特開 2023-48726	基板処理を行う装置、ガスシャワーヘッド、及び基板処理を行う方法	2023年 4月 7日
特開 2023-47481	エッチング方法及びエッチング装置	2023年 4月 6日
特開 2023-47845	基板表面に形成された凹部に対してルテニウムを埋め込む方法及び装置	2023年 4月 6日
特開 2023-47993	基板処理方法及び基板処理システム	2023年 4月 6日
特開 2023-46423	成膜方法及び成膜装置	2023年 4月 5日
特開 2023-46600	基板載置機構、検査装置、および検査方法	2023年 4月 5日
特開 2023-46638	基板処理方法及び基板処理システム	2023年 4月 5日
特開 2023-46643	ガス管理方法及び基板処理システム	2023年 4月 5日
特開 2023-46897	上部電極アセンブリ及びプラズマ処理装置	2023年 4月 5日
特開 2023-46899	プラズマ処理装置及び処理方法	2023年 4月 5日
特開 2023-47134	故障検知方法及びプラズマ処理装置	2023年 4月 5日
特開 2023-45016	成膜方法及び成膜システム	2023年 4月 3日
特開 2023-45017	成膜装置、成膜方法及び成膜システム	2023年 4月 3日
特開 2023-45093	プラズマ処理を行う装置、及びプラズマ処理を行う方法	2023年 4月 3日
特開 2023-45196	基板処理装置及び基板処理方法	2023年 4月 3日

725 件中 511-525 件を表示

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2023-48726 2023-47481 2023-47845 2023-47993 2023-46423 2023-46600 2023-46638 2023-46643 2023-46897 2023-46899 2023-47134 2023-45016 2023-45017 2023-45093 2023-45196

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