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■ 2023年 出願公開件数ランキング 第31位 722件
(2022年:第25位 842件)
■ 2023年 特許取得件数ランキング 第32位 762件
(2022年:第38位 690件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特開 2023-59613 | パーティクル抑制方法 | 2023年 4月27日 | |
特開 2023-59818 | 基板処理装置 | 2023年 4月27日 | |
特開 2023-59948 | プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法 | 2023年 4月27日 | |
特表 2023-518036 | ウエハ乾燥のためのシステム及び方法 | 2023年 4月27日 | |
特開 2023-59079 | 直動機構、位置決め機構、接合装置および接合方法 | 2023年 4月26日 | |
特開 2023-59081 | 基板支持部及びプラズマ処理装置 | 2023年 4月26日 | |
特開 2023-59152 | 支持装置、検査システム及び支持装置の制御方法 | 2023年 4月26日 | |
特表 2023-517747 | スピンオン膜の平坦化 | 2023年 4月26日 | |
特表 2023-517748 | 平坦化有機膜 | 2023年 4月26日 | |
特開 2023-58371 | プラズマ処理を行う装置、及びプラズマ処理を行う方法 | 2023年 4月25日 | |
特開 2023-58373 | 成膜方法及び基板処理装置 | 2023年 4月25日 | |
特開 2023-57648 | 処理方法 | 2023年 4月24日 | |
特開 2023-57292 | 基板処理システム、情報処理装置、情報処理方法及び情報処理プログラム | 2023年 4月21日 | |
特開 2023-57370 | フィルタ性能評価装置、フィルタウェッティング装置及びフィルタ性能評価方法 | 2023年 4月21日 | |
特表 2023-517095 | トラックシステムに統合するための長波赤外線熱センサ | 2023年 4月21日 |
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2023-59613 2023-59818 2023-59948 2023-518036 2023-59079 2023-59081 2023-59152 2023-517747 2023-517748 2023-58371 2023-58373 2023-57648 2023-57292 2023-57370 2023-517095
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2月25日(火) -
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2月26日(水) -
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2月26日(水) - 東京 港区
2月26日(水) -
2月26日(水) - 千葉 船橋市
2月27日(木) -
2月27日(木) -
2月27日(木) - 東京 港区
2月27日(木) -
2月27日(木) - 東京 千代田区
2月25日(火) -
3月4日(火) - 東京 港区
3月4日(火) -
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3月5日(水) -
3月5日(水) -
3月6日(木) -
3月6日(木) - 東京 品川区
3月6日(木) - 東京 港区
3月6日(木) -
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3月7日(金) - 東京 港区
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