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東京エレクトロン株式会社

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東京エレクトロン株式会社の商標一覧

公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特開 2023-67406	プラズマ処理方法及びプラズマ処理システム	2023年 5月16日
特開 2023-67443	プラズマ処理方法及びプラズマ処理装置	2023年 5月16日
特開 2023-67605	膜を形成する方法、及び膜を形成する装置	2023年 5月16日
特開 2023-67767	基板支持器、プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法	2023年 5月16日
特開 2023-67921	プラズマ処理方法及びプラズマ処理装置	2023年 5月16日
特開 2023-67992	加熱機構および基板加熱方法	2023年 5月16日
特開 2023-67998	プラズマ処理装置、温度制御方法および温度制御プログラム	2023年 5月16日
特開 2023-64923	プラズマ処理装置及びインナーチャンバ	2023年 5月12日
特開 2023-65305	成膜方法及び成膜システム	2023年 5月12日
特開 2023-65412	基板処理装置	2023年 5月12日
特表 2023-519707	周期的自己制限的エッチングプロセス	2023年 5月12日
特開 2023-64225	基板支持部、プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法	2023年 5月11日
特開 2023-64521	基板に炭素含有膜を成膜する装置、及び方法	2023年 5月11日
特開 2023-63675	パターンを形成する方法	2023年 5月10日
特開 2023-62845	被処理体の搬送方法および処理装置	2023年 5月 9日

725 件中 421-435 件を表示

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2023-67406 2023-67443 2023-67605 2023-67767 2023-67921 2023-67992 2023-67998 2023-64923 2023-65305 2023-65412 2023-519707 2023-64225 2023-64521 2023-63675 2023-62845

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