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東京エレクトロン株式会社

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東京エレクトロン株式会社の商標一覧

公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特開 2023-51251	成膜装置および成膜方法	2023年 4月11日
特開 2023-51506	温度校正システム、検査装置および温度校正方法	2023年 4月11日
特開 2023-51734	ステージ、検査装置およびステージの動作方法	2023年 4月11日
特開 2023-52161	基板検査装置、基板検査システム及び基板検査方法	2023年 4月11日
特開 2023-52686	基板搬送システム	2023年 4月11日
特開 2023-49755	基板処理方法、および基板処理装置	2023年 4月10日
特開 2023-49756	基板保持機構及びこれを用いた基板処理装置、並びに基板交換方法	2023年 4月10日
特開 2023-49784	基板処理システム及び搬送装置のティーチング方法	2023年 4月10日
特開 2023-49941	ゲートバルブ、基板処理システムおよびゲートバルブの動作方法	2023年 4月10日
特開 2023-50068	成膜方法及び成膜装置	2023年 4月10日
特開 2023-50155	プラズマ処理方法及びプラズマ処理システム	2023年 4月10日
特開 2023-48449	基板支持器、基板処理装置及び静電吸着方法	2023年 4月 7日
特開 2023-48519	プラズマ処理方法及びプラズマ処理装置	2023年 4月 7日
特開 2023-48650	検査装置及び検査方法	2023年 4月 7日
特開 2023-48702	逆並列サイリスタの故障検出方法及び電力制御装置	2023年 4月 7日

725 件中 496-510 件を表示

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2023-51251 2023-51506 2023-51734 2023-52161 2023-52686 2023-49755 2023-49756 2023-49784 2023-49941 2023-50068 2023-50155 2023-48449 2023-48519 2023-48650 2023-48702

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