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東京エレクトロン株式会社

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  2024年 出願公開件数ランキング    第27位 725件 上昇2023年:第31位 722件)

  2024年 特許取得件数ランキング    第25位 802件 上昇2023年:第32位 762件)

(ランキング更新日:2025年2月5日)筆頭出願人である出願のみカウントしています

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特開 2024-98586 プラズマ処理装置及び制御方法 2024年 7月24日
特開 2024-98615 基板処理方法及び基板処理装置 2024年 7月24日
特開 2024-98708 プラズマ処理装置 2024年 7月24日
特開 2024-98769 エッチング方法及びプラズマ処理装置 2024年 7月24日
特開 2024-98831 検査装置、ローダおよび搬送方法 2024年 7月24日
特開 2024-98961 エッチング方法及びプラズマ処理装置 2024年 7月24日
特開 2024-99039 基板処理装置、基板処理システム、及びメンテナンス方法 2024年 7月24日
特開 2024-97842 レーザー加工装置、及びレーザー加工方法 2024年 7月19日
特開 2024-97910 真空処理装置、及び真空処理装置の制御方法 2024年 7月19日
特開 2024-97990 プラズマ処理装置 2024年 7月19日
特開 2024-97204 撮像ユニット、撮像ユニット取り付け構造、基板処理装置および撮像方法 2024年 7月18日
特開 2024-97250 静電チャック、基板処理装置、および静電チャックの製造方法 2024年 7月18日
特開 2024-97251 静電チャック、基板処理装置、および静電チャックの製造方法 2024年 7月18日
特開 2024-97002 シャワーヘッド、電極ユニット、ガス供給ユニット、基板処理装置及び基板処理システム 2024年 7月17日
特開 2024-97014 プラズマ処理装置及び電源システム 2024年 7月17日

730 件中 301-315 件を表示

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2024-98586 2024-98615 2024-98708 2024-98769 2024-98831 2024-98961 2024-99039 2024-97842 2024-97910 2024-97990 2024-97204 2024-97250 2024-97251 2024-97002 2024-97014

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