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カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー

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カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハーの商標一覧

公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特許 7561188	製造方法及び測定方法	2024年10月 3日
特許 7558378	フォトリソグラフィマスクのパターン要素の側壁角を設定するための方法および装置	2024年 9月30日
特許 7548931	測定又は検査装置及び表面を測定又は検査する方法	2024年 9月10日
特許 7546001	改善された３Ｄボリューム像再構成精度を有する断面イメージング	2024年 9月 5日
特許 7546005	第１コンポーネントと第２コンポーネントとを接着結合する方法及び装置	2024年 9月 5日
特許 7546153	試料を粒子線で分析および／または処理するための装置および方法	2024年 9月 5日
特許 7544957	少なくとも１つの軸に沿って変位可能であり、かつ少なくとも１つの軸を中心に回転可能である試料ステージ上のフォトマスクのアライメントを決定するための方法および装置	2024年 9月 3日
特許 7535568	マイクロツーリングデバイスの自動化された動作制御	2024年 8月16日
特許 7535577	構造化物体の表面にわたる測定光波長の測定光の光学的位相差を決定するための方法	2024年 8月16日
特許 7535667	特にマイクロリソグラフィ用の光学系を調整する方法	2024年 8月16日
特許 7526192	光学素子の支持	2024年 7月31日
特許 7520837	ＶＵＶ放射線を反射する光学素子及び光学装置	2024年 7月23日
特許 7511751	マイクロリソグラフィ用適応光学素子	2024年 7月 5日
特許 7511001	計測デバイスを較正する方法	2024年 7月 4日
特許 7511024	ＥＵＶリソグラフィ用マスクを検査するためのシステムおよび方法	2024年 7月 4日

51 件中 16-30 件を表示

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7561188 7558378 7548931 7546001 7546005 7546153 7544957 7535568 7535577 7535667 7526192 7520837 7511751 7511001 7511024

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