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カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー

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  2024年 出願公開件数ランキング    第485位 63件 上昇2023年:第628位 47件)

  2024年 特許取得件数ランキング    第517位 51件 上昇2023年:第631位 40件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 7510418 格子構造の形態の分光フィルタを備える投影露光装置の照射光学ユニット用のミラー、およびミラー上に格子構造の形態の分光フィルタを生成するための方法 2024年 7月 3日
特許 7510468 マイクロリソグラフィフォトマスクの欠陥の粒子ビーム誘起処理のための方法 2024年 7月 3日
特許 7506684 表面形状を干渉測定する計測法 2024年 6月26日
特許 7504885 アルミニウム層をインサイチュで保護する方法及びVUV波長域用の光学装置 2024年 6月24日
特許 7502992 投影リソグラフィ用の照明光学デバイス 2024年 6月19日
特許 7503094 リソグラフィマスクへの測定光衝突に対する、波長依存測定光反射率の効果、および測定光の偏光の効果を測定する方法 2024年 6月19日
特許 7503097 マイクロリソグラフィ微細構造化構成要素の像を解析する方法および装置 2024年 6月19日
特許 7503098 測定される入射瞳内で照明光によって照明されたときの光学系の結像品質を決定するための方法 2024年 6月19日
特許 7496839 特にマイクロリソグラフィ投影露光装置用のミラー 2024年 6月 7日
特許 7495922 反射光学素子 2024年 6月 5日
特許 7493102 半導体リソグラフィ用の投影露光装置のアクチュエータを測定する方法及び装置 2024年 5月30日
特許 7482323 マイクロリソグラフィ用適応光学素子 2024年 5月13日
特許 7477577 結像光学製造システムの目標波面を再生する方法、およびその方法を実施する計測システム 2024年 5月 1日
特許 7475450 保護コーティングを有する光学素子、その製造方法及び光学装置 2024年 4月26日
特許 7461407 位置合わせ誤差を決定するための方法 2024年 4月 3日

51 件中 31-45 件を表示

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7510418 7510468 7506684 7504885 7502992 7503094 7503097 7503098 7496839 7495922 7493102 7482323 7477577 7475450 7461407

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