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カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー

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カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハーの商標一覧

公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特許 7510418	格子構造の形態の分光フィルタを備える投影露光装置の照射光学ユニット用のミラー、およびミラー上に格子構造の形態の分光フィルタを生成するための方法	2024年 7月 3日
特許 7510468	マイクロリソグラフィフォトマスクの欠陥の粒子ビーム誘起処理のための方法	2024年 7月 3日
特許 7506684	表面形状を干渉測定する計測法	2024年 6月26日
特許 7504885	アルミニウム層をインサイチュで保護する方法及びＶＵＶ波長域用の光学装置	2024年 6月24日
特許 7502992	投影リソグラフィ用の照明光学デバイス	2024年 6月19日
特許 7503094	リソグラフィマスクへの測定光衝突に対する、波長依存測定光反射率の効果、および測定光の偏光の効果を測定する方法	2024年 6月19日
特許 7503097	マイクロリソグラフィ微細構造化構成要素の像を解析する方法および装置	2024年 6月19日
特許 7503098	測定される入射瞳内で照明光によって照明されたときの光学系の結像品質を決定するための方法	2024年 6月19日
特許 7496839	特にマイクロリソグラフィ投影露光装置用のミラー	2024年 6月 7日
特許 7495922	反射光学素子	2024年 6月 5日
特許 7493102	半導体リソグラフィ用の投影露光装置のアクチュエータを測定する方法及び装置	2024年 5月30日
特許 7482323	マイクロリソグラフィ用適応光学素子	2024年 5月13日
特許 7477577	結像光学製造システムの目標波面を再生する方法、およびその方法を実施する計測システム	2024年 5月 1日
特許 7475450	保護コーティングを有する光学素子、その製造方法及び光学装置	2024年 4月26日
特許 7461407	位置合わせ誤差を決定するための方法	2024年 4月 3日

51 件中 31-45 件を表示

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7510418 7510468 7506684 7504885 7502992 7503094 7503097 7503098 7496839 7495922 7493102 7482323 7477577 7475450 7461407

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