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東京エレクトロン株式会社

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東京エレクトロン株式会社の商標一覧

公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特開 2023-79494	原料ガス供給方法および原料ガス供給機構、ならびに成膜システム	2023年 6月 8日
特開 2023-79887	基板の搬送を行う装置、及び基板の搬送を行う方法	2023年 6月 8日
特開 2023-78550	半導体製造装置、半導体製造装置の処理実行方法	2023年 6月 7日
特開 2023-78977	プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法	2023年 6月 7日
特開 2023-77671	接合装置、及び接合方法	2023年 6月 6日
特開 2023-76942	加工装置、及び加工方法	2023年 6月 5日
特開 2023-76088	シャワーヘッド電極組立体及びプラズマ処理装置	2023年 6月 1日
特開 2023-76278	基板処理装置、および基板処理方法	2023年 6月 1日
特開 2023-75652	基板支持体及び基板処理装置	2023年 5月31日
特開 2023-75656	基板処理装置及び基板処理方法	2023年 5月31日
特開 2023-75684	ゲートバルブ及び駆動方法。	2023年 5月31日
特開 2023-75832	窒化膜の成膜方法及びプラズマ処理装置	2023年 5月31日
特開 2023-74620	基板処理装置、基板処理方法および基板処理プログラム	2023年 5月30日
特開 2023-74695	加工装置、及び加工方法	2023年 5月30日
特開 2023-74902	熱処理装置	2023年 5月30日

725 件中 376-390 件を表示

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2023-79494 2023-79887 2023-78550 2023-78977 2023-77671 2023-76942 2023-76088 2023-76278 2023-75652 2023-75656 2023-75684 2023-75832 2023-74620 2023-74695 2023-74902

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