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■ 2024年 出願公開件数ランキング 第630位 43件 (2023年:第609位 49件)
■ 2024年 特許取得件数ランキング 第431位 65件 (2023年:第509位 54件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特開 2024-43072 | 検査装置、方法およびプログラム | 2024年 3月29日 | |
特開 2024-30513 | ビーム検出器、マルチ荷電粒子ビーム照射装置、及びビーム検出器の調整方法 | 2024年 3月 7日 | |
特開 2024-19878 | 検査装置、検査方法およびプログラム | 2024年 2月14日 | |
特開 2024-17276 | 成膜装置 | 2024年 2月 8日 | |
特開 2024-17283 | 気相成長装置 | 2024年 2月 8日 | |
特開 2024-17671 | マルチビーム画像取得装置及びマルチビーム画像取得方法 | 2024年 2月 8日 | |
特開 2024-16068 | EUVマスクのパターン検査装置及びEUVマスクのパターン検査方法 | 2024年 2月 6日 | |
特開 2024-13523 | 検査装置及び検査画像の生成方法 | 2024年 2月 1日 | |
特開 2024-12973 | ブランキングアパーチャアレイシステム及びマルチ荷電粒子ビーム描画装置 | 2024年 1月31日 | |
特開 2024-8279 | マルチ荷電粒子ビーム照射装置、マルチ荷電粒子ビーム照射方法およびブランキングアパーチャアレイ実装基板の交換方法 | 2024年 1月19日 | |
特開 2024-8831 | 実装基板、ブランキングアパーチャアレイチップ、ブランキングアパーチャアレイシステム及びマルチ荷電粒子ビーム照射装置 | 2024年 1月19日 | |
特開 2024-8871 | マルチ電子ビーム画像取得装置、マルチ電子ビーム画像取得方法、電子ビーム画像取得装置、及び電子ビーム画像取得方法 | 2024年 1月19日 | |
特開 2024-7428 | マルチビーム画像取得装置及びマルチビーム画像取得方法 | 2024年 1月18日 | |
特開 2024-4285 | マルチ荷電粒子ビーム描画方法及びマルチ荷電粒子ビーム描画装置 | 2024年 1月16日 | |
特開 2024-1695 | 基板処理装置 | 2024年 1月10日 |
45 件中 31-45 件を表示
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