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東京エレクトロン株式会社

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東京エレクトロン株式会社の商標一覧

公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特開 2023-83964	シール部材の取り外し方法、及び気体供給ノズル	2023年 6月16日
特開 2023-83993	クリーニング方法及び成膜装置	2023年 6月16日
特開 2023-83994	熱処理装置、制御方法及びプログラム	2023年 6月16日
特開 2023-82809	プラズマ処理方法及びプラズマ処理装置	2023年 6月15日
特開 2023-82889	プラズマ処理装置	2023年 6月15日
特開 2023-83086	プラズマ処理方法及びプラズマ処理システム	2023年 6月15日
特開 2023-83140	処理液供給装置及び処理液排出方法	2023年 6月15日
特開 2023-82263	剥離システムおよび剥離方法	2023年 6月14日
特開 2023-82531	プラズマ処理装置及びマイクロ波放射源	2023年 6月14日
特開 2023-81671	ガス流量測定方法及びガス流量用測定治具	2023年 6月13日
特表 2023-524487	液体分配及びカバレージ制御のためのシステム及び方法	2023年 6月12日
特開 2023-80566	エッチング方法及びプラズマ処理装置	2023年 6月 9日
特開 2023-81015	基板処理システム及び基板処理システムの調整方法	2023年 6月 9日
特開 2023-81016	基板搬送装置及び基板搬送方法	2023年 6月 9日
特開 2023-81091	オゾン供給システム、基板処理装置およびオゾン供給方法	2023年 6月 9日

725 件中 361-375 件を表示

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2023-83964 2023-83993 2023-83994 2023-82809 2023-82889 2023-83086 2023-83140 2023-82263 2023-82531 2023-81671 2023-524487 2023-80566 2023-81015 2023-81016 2023-81091

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