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東京エレクトロン株式会社

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東京エレクトロン株式会社の商標一覧

公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特開 2023-88520	プラズマエッチング処理装置及び上部電極	2023年 6月27日
特開 2023-87757	ノズル、基板処理装置および基板処理方法	2023年 6月26日
特開 2023-88160	基板処理装置及び基板処理方法	2023年 6月26日
特開 2023-87228	ガス処理方法およびガス処理装置	2023年 6月23日
特開 2023-87236	気化装置、基板処理システム及び気化方法	2023年 6月23日
特開 2023-87245	上部電極及びプラズマ処理装置	2023年 6月23日
特開 2023-87396	プラズマ処理装置及び電位制御方法	2023年 6月23日
特開 2023-84770	溶剤蒸気供給装置及び溶剤蒸気供給方法	2023年 6月20日
特開 2023-85186	検査方法、補正量算出方法および検査装置	2023年 6月20日
特開 2023-84217	基板支持台、プラズマ処理装置及びリングの交換方法	2023年 6月19日
特開 2023-84292	除去装置、基板処理装置および除去方法	2023年 6月19日
特開 2023-84397	成膜方法及び成膜装置	2023年 6月19日
特開 2023-84589	スパッタ装置及び制御方法	2023年 6月19日
特開 2023-83731	プラズマ処理装置	2023年 6月16日
特開 2023-83962	基板を処理するシステム、及びそのメンテナンス方法	2023年 6月16日

725 件中 346-360 件を表示

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2023-88520 2023-87757 2023-88160 2023-87228 2023-87236 2023-87245 2023-87396 2023-84770 2023-85186 2023-84217 2023-84292 2023-84397 2023-84589 2023-83731 2023-83962

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