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東京エレクトロン株式会社

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  2023年 出願公開件数ランキング    第31位 722件 下降2022年:第25位 842件)

  2023年 特許取得件数ランキング    第32位 762件 上昇2022年:第38位 690件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特開 2023-95548 基板処理装置および基板処理方法 2023年 7月 6日
特開 2023-95644 プラズマ処理装置、およびプラズマ処理装置の製造方法 2023年 7月 6日
特開 2023-96175 処理流体供給装置 2023年 7月 6日
特開 2023-94255 プラズマ処理装置 2023年 7月 5日
特開 2023-94256 プラズマ処理装置及びガス供給方法 2023年 7月 5日
特開 2023-94345 基板処理装置、ガス供給システム及び基板処理方法 2023年 7月 5日
特開 2023-92742 基板処理装置、及び基板処理方法 2023年 7月 4日
特開 2023-93481 基板処理装置及び載置台 2023年 7月 4日
特開 2023-91939 基板処理装置、処理液供給方法及びコンピュータ記憶媒体 2023年 7月 3日
特開 2023-92468 結晶シリコン膜を形成する方法および装置 2023年 7月 3日
特開 2023-91605 基板処理装置、および基板取り出し方法 2023年 6月30日
特開 2023-91736 基板処理装置、基板処理方法及び記憶媒体 2023年 6月30日
特開 2023-90717 基板処理方法及び基板処理システム 2023年 6月29日
特開 2023-89799 基板搬送装置及び基板搬送方法 2023年 6月28日
特開 2023-88493 検出システム、検出方法及び記憶媒体 2023年 6月27日

725 件中 331-345 件を表示

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2023-95548 2023-95644 2023-96175 2023-94255 2023-94256 2023-94345 2023-92742 2023-93481 2023-91939 2023-92468 2023-91605 2023-91736 2023-90717 2023-89799 2023-88493

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