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■ 2023年 出願公開件数ランキング 第31位 722件
(2022年:第25位 842件)
■ 2023年 特許取得件数ランキング 第32位 762件
(2022年:第38位 690件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特開 2023-95548 | 基板処理装置および基板処理方法 | 2023年 7月 6日 | |
特開 2023-95644 | プラズマ処理装置、およびプラズマ処理装置の製造方法 | 2023年 7月 6日 | |
特開 2023-96175 | 処理流体供給装置 | 2023年 7月 6日 | |
特開 2023-94255 | プラズマ処理装置 | 2023年 7月 5日 | |
特開 2023-94256 | プラズマ処理装置及びガス供給方法 | 2023年 7月 5日 | |
特開 2023-94345 | 基板処理装置、ガス供給システム及び基板処理方法 | 2023年 7月 5日 | |
特開 2023-92742 | 基板処理装置、及び基板処理方法 | 2023年 7月 4日 | |
特開 2023-93481 | 基板処理装置及び載置台 | 2023年 7月 4日 | |
特開 2023-91939 | 基板処理装置、処理液供給方法及びコンピュータ記憶媒体 | 2023年 7月 3日 | |
特開 2023-92468 | 結晶シリコン膜を形成する方法および装置 | 2023年 7月 3日 | |
特開 2023-91605 | 基板処理装置、および基板取り出し方法 | 2023年 6月30日 | |
特開 2023-91736 | 基板処理装置、基板処理方法及び記憶媒体 | 2023年 6月30日 | |
特開 2023-90717 | 基板処理方法及び基板処理システム | 2023年 6月29日 | |
特開 2023-89799 | 基板搬送装置及び基板搬送方法 | 2023年 6月28日 | |
特開 2023-88493 | 検出システム、検出方法及び記憶媒体 | 2023年 6月27日 |
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2023-95548 2023-95644 2023-96175 2023-94255 2023-94256 2023-94345 2023-92742 2023-93481 2023-91939 2023-92468 2023-91605 2023-91736 2023-90717 2023-89799 2023-88493
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2月26日(水) -
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2月27日(木) - 東京 港区
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2月27日(木) - 東京 千代田区
2月25日(火) -
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3月6日(木) -
3月6日(木) - 東京 品川区
3月6日(木) - 東京 港区
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3月7日(金) - 東京 港区
3月7日(金) -
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