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東京エレクトロン株式会社

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  2024年 出願公開件数ランキング    第27位 725件 上昇2023年:第31位 722件)

  2024年 特許取得件数ランキング    第25位 802件 上昇2023年:第32位 762件)

(ランキング更新日:2025年1月22日)筆頭出願人である出願のみカウントしています

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特開 2024-118571 基板処理装置及び制御方法 2024年 9月 2日
特開 2024-117877 基板処理装置および基板処理方法 2024年 8月30日
特開 2024-117888 基板処理装置における処理液の流量推定方法および基板処理装置 2024年 8月30日
特開 2024-118019 プラズマ処理装置及びリーク検知方法 2024年 8月30日
特開 2024-118091 プラズマ処理装置 2024年 8月30日
特開 2024-118310 基板処理方法 2024年 8月30日
特開 2024-117598 ステージ、検査装置、およびステージの動作方法 2024年 8月29日
特表 2024-531264 超臨界流体計測のためのラマンセンサ 2024年 8月29日
特開 2024-116963 基板処理装置、および基板載置方法 2024年 8月28日
特開 2024-116062 基板処理装置、および基板載置方法 2024年 8月27日
特開 2024-116179 プラズマ処理装置及び部品 2024年 8月27日
特表 2024-530861 多方向作動膜を用いたウェーハ形状を調整する方法 2024年 8月27日
特表 2024-530963 極紫外線リソグラフィパターニング方法 2024年 8月27日
特開 2024-115005 プラズマ計測装置およびプラズマ計測方法 2024年 8月26日
特開 2024-115083 プラズマ処理装置 2024年 8月26日

730 件中 211-225 件を表示

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2024-118571 2024-117877 2024-117888 2024-118019 2024-118091 2024-118310 2024-117598 2024-531264 2024-116963 2024-116062 2024-116179 2024-530861 2024-530963 2024-115005 2024-115083

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