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東京エレクトロン株式会社

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  2024年 特許取得件数ランキング    第25位 802件 上昇2023年:第32位 762件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 7535920 処理液吐出量の測定用容器及び処理液吐出量の測定方法 2024年 8月19日
特許 7535932 基板処理装置および基板処理方法 2024年 8月19日
特許 7535933 現像方法及び基板処理システム 2024年 8月19日
特許 7535408 エッチング方法及びプラズマ処理システム 2024年 8月16日
特許 7535424 エッチング方法及びプラズマ処理装置 2024年 8月16日
特許 7535435 検査装置及びプローブの研磨方法 2024年 8月16日
特許 7535438 プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法 2024年 8月16日
特許 7534044 スパッタ装置及び成膜方法 2024年 8月14日
特許 7534046 エッチング方法及びプラズマ処理装置 2024年 8月14日
特許 7534047 検査装置の制御方法及び検査装置 2024年 8月14日
特許 7534048 プラズマ処理システム及びプラズマ処理方法 2024年 8月14日
特許 7534049 保持部材、上部電極アセンブリ、及びプラズマ処理装置 2024年 8月14日
特許 7534052 プラズマ処理装置及び部品 2024年 8月14日
特許 7534054 3Dトランジスタデバイスのためのディフュージョンブレーク、ゲートカット、並びに独立したNゲート及びPゲートの同時形成のための装置及び方法 2024年 8月14日
特許 7534235 フィルタ回路及びプラズマ処理装置 2024年 8月14日

809 件中 301-315 件を表示

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7535920 7535932 7535933 7535408 7535424 7535435 7535438 7534044 7534046 7534047 7534048 7534049 7534052 7534054 7534235

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