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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特許 7539236 | 基板処理装置 | 2024年 8月23日 | |
特許 7539297 | 基板処理方法および基板処理システム | 2024年 8月23日 | |
特許 7538935 | プラズマ処理装置 | 2024年 8月22日 | |
特許 7537147 | 載置台、基板を処理する装置、及び基板を温度調節する方法 | 2024年 8月21日 | |
特許 7537842 | 基板支持体、基板処理装置および基板処理方法 | 2024年 8月21日 | |
特許 7537843 | クリーニング方法及び基板処理装置 | 2024年 8月21日 | |
特許 7537844 | プラズマ処理装置 | 2024年 8月21日 | |
特許 7537845 | プラズマ処理装置 | 2024年 8月21日 | |
特許 7537846 | 処理容器とプラズマ処理装置、及び処理容器の製造方法 | 2024年 8月21日 | |
特許 7537847 | 基板搬送装置及び基板処理システム | 2024年 8月21日 | |
特許 7536540 | プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法 | 2024年 8月20日 | |
特許 7536583 | ノズルユニット、液処理装置及び液処理方法 | 2024年 8月20日 | |
特許 7536603 | 基板保持体、基板搬送装置及び基板保持体の製造方法 | 2024年 8月20日 | |
特許 7536941 | プラズマ処理方法及びプラズマ処理装置 | 2024年 8月20日 | |
特許 7535890 | 基板処理装置 | 2024年 8月19日 |
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7539236 7539297 7538935 7537147 7537842 7537843 7537844 7537845 7537846 7537847 7536540 7536583 7536603 7536941 7535890
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