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株式会社ＳＵＭＣＯ

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株式会社ＳＵＭＣＯの商標一覧

公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特許 7537356	半導体エピタキシャルウェーハの製造方法	2024年 8月21日
特許 7533205	シリコン単結晶製造装置の加熱部、シリコン融液の対流パターン制御方法、シリコン単結晶の製造方法、シリコンウェーハの製造方法、シリコン単結晶製造装置及びシリコン融液の対流パターン制御システム	2024年 8月14日
特許 7534267	低抵抗率ウェーハ及びその製造方法	2024年 8月14日
特許 7528881	貼り合わせウェーハの製造方法	2024年 8月 6日
特許 7529000	積層ウェーハの製造方法	2024年 8月 6日
特許 7524826	熱処理炉の前処理方法、熱処理炉及びウェーハの製造方法	2024年 7月30日
特許 7525023	酸化膜の形成条件決定方法、酸化膜の形成方法、および、ウェーハの製造方法	2024年 7月30日
特許 7521494	枚葉式エピタキシャル成長装置の制御装置及び制御方法、並びにエピタキシャルウェーハの製造システム	2024年 7月24日
特許 7517530	半導体ウェーハの洗浄方法	2024年 7月17日
特許 7513071	シリコンウェーハの枚葉式片面研磨方法	2024年 7月 9日
特許 7510139	Ｇｅ単結晶膜の製造方法	2024年 7月 3日
特許 7509117	監視方法、監視プログラム、監視装置、ウェーハの製造方法、及びウェーハ	2024年 7月 2日
特許 7501438	ＳＯＩウェーハの製造方法	2024年 6月18日
特許 7501476	シリコン単結晶の製造方法およびシリコンウェーハの製造方法	2024年 6月18日
特許 7487655	シリコンウェーハの抵抗率測定方法	2024年 5月21日

75 件中 31-45 件を表示

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7537356 7533205 7534267 7528881 7529000 7524826 7525023 7521494 7517530 7513071 7510139 7509117 7501438 7501476 7487655

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