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東京エレクトロン株式会社

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  2024年 出願公開件数ランキング    第27位 725件 上昇2023年:第31位 722件)

  2024年 特許取得件数ランキング    第25位 802件 上昇2023年:第32位 762件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特開 2024-134515 プラズマ処理装置 2024年10月 3日
特開 2024-133658 プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法 2024年10月 2日
特表 2024-535798 EUVレジストのハイブリッド現像 2024年10月 2日
特開 2024-132907 基板支持器及び基板処理装置 2024年10月 1日
特開 2024-133133 基板処理システム及び収納モジュール 2024年10月 1日
特開 2024-133281 搬送装置 2024年10月 1日
特開 2024-133307 エッチング方法 2024年10月 1日
特開 2024-133317 基板の下面に対するガス整流部材 2024年10月 1日
特開 2024-129883 セットアップ方法、基板処理方法、及び基板処理装置 2024年 9月30日
特開 2024-130337 基板搬送方法及び基板搬送装置 2024年 9月30日
特開 2024-130804 プラズマ処理方法及びプラズマ処理装置 2024年 9月30日
特開 2024-131462 炭素膜形成方法及び炭素膜形成装置 2024年 9月30日
特開 2024-131906 着火制御方法、成膜方法及び基板処理装置 2024年 9月30日
特表 2024-535334 高解像度の潜像加工、コントラスト増強及び熱現像、加工のための装置 2024年 9月30日
特開 2024-129271 基板処理装置 2024年 9月27日

730 件中 151-165 件を表示

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2024-134515 2024-133658 2024-535798 2024-132907 2024-133133 2024-133281 2024-133307 2024-133317 2024-129883 2024-130337 2024-130804 2024-131462 2024-131906 2024-535334 2024-129271

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