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■ 2024年 出願公開件数ランキング 第630位 43件
(2023年:第609位 49件)
■ 2024年 特許取得件数ランキング 第431位 65件
(2023年:第509位 54件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特許 7516846 | 荷電粒子ビーム描画方法及び荷電粒子ビーム描画装置 | 2024年 7月17日 | |
特許 7514677 | パターン検査装置及びパターンの輪郭位置取得方法 | 2024年 7月11日 | |
特許 7507589 | 検査装置 | 2024年 6月28日 | |
特許 7507060 | 熱電界エミッタ、マルチビーム形成装置、及び電子ビームツール用のマルチビーム生成方法 | 2024年 6月27日 | |
特許 7492929 | 半導体装置、荷電粒子ビーム描画装置及びマルチ荷電粒子ビーム照射装置 | 2024年 5月30日 | |
特許 7484491 | 荷電粒子ビーム描画方法及び荷電粒子ビーム描画装置 | 2024年 5月16日 | |
特許 7484523 | マルチビーム描画方法及びマルチビーム描画装置 | 2024年 5月16日 | |
特許 7482742 | マルチ荷電粒子ビーム描画装置及びマルチ荷電粒子ビーム描画方法 | 2024年 5月14日 | |
特許 7482760 | 荷電粒子ビーム照射装置 | 2024年 5月14日 | |
特許 7482976 | ショットキー熱電界放出(TFE)源の使用可能電流及び輝度を決定する方法、持続性コンピュータ可読媒体、及び決定システム | 2024年 5月14日 | |
特許 7480917 | マルチ荷電粒子ビーム描画装置 | 2024年 5月10日 | |
特許 7480918 | マルチ荷電粒子ビーム描画装置 | 2024年 5月10日 | |
特許 7474151 | マルチ電子ビーム描画装置及びマルチ電子ビーム描画方法 | 2024年 4月24日 | |
特許 7468795 | マルチ荷電粒子ビーム描画装置 | 2024年 4月16日 | |
特許 7465138 | パターン検査装置及びパターン検査方法 | 2024年 4月10日 |
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7516846 7514677 7507589 7507060 7492929 7484491 7484523 7482742 7482760 7482976 7480917 7480918 7474151 7468795 7465138
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9月4日(木) -
9月4日(木) - 大阪 大阪市
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9月5日(金) -
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9月10日(水) -
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9月12日(金) -
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