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株式会社ニューフレアテクノロジー

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 7458817 マルチ荷電粒子ビーム描画装置及びマルチ荷電粒子ビーム描画方法 2024年 4月 1日
特許 7459007 欠陥検査装置及び欠陥検査方法 2024年 4月 1日
特許 7459380 マルチ電子ビーム画像取得装置及びマルチ電子ビーム画像取得方法 2024年 4月 1日
特許 7455720 マルチ荷電粒子ビーム照射装置およびマルチ荷電粒子ビーム照射方法 2024年 3月26日
特許 7446940 マルチ荷電粒子ビーム描画装置及びマルチ荷電粒子ビーム描画方法 2024年 3月11日
特許 7445575 パターン検査方法およびパターン検査装置 2024年 3月 7日
特許 7443268 欠陥検査方法 2024年 3月 5日
特許 7442299 電子銃、電子放出装置、及び電子銃の製造方法 2024年 3月 4日
特許 7442375 マルチ電子ビーム検査装置及びマルチ電子ビーム検査方法 2024年 3月 4日
特許 7442376 マルチ電子ビーム検査装置及びマルチ電子ビーム検査方法 2024年 3月 4日
特許 7440354 パターン検査装置及びパターン検査方法 2024年 2月28日
特許 7440660 気相成長装置 2024年 2月28日
特許 7440666 気相成長装置及び気相成長方法 2024年 2月28日
特許 7429128 マルチ電子ビーム照射装置及びマルチ電子ビーム照射方法 2024年 2月 7日
特許 7421364 マルチビーム描画方法及びマルチビーム描画装置 2024年 1月24日

66 件中 46-60 件を表示

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7458817 7459007 7459380 7455720 7446940 7445575 7443268 7442299 7442375 7442376 7440354 7440660 7440666 7429128 7421364

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