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ケーエルエー−テンカー　コーポレイション

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ケーエルエー−テンカー　コーポレイションの商標一覧

公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特表 2023-533465	重複構造上での後方散乱電子をモデル化することによりオーバレイを計測するためのターゲット及びアルゴリズム	2023年 8月 3日
特表 2023-533520	モアレ効果を呈するデバイス様オーバレイ計量ターゲット	2023年 8月 3日
特表 2023-531479	半導体製造プロセスで使用される敏感な層の試料損傷を防いで走査型電子顕微鏡撮像を可能にする方法	2023年 7月24日
特表 2023-531530	機械学習を用いた半導体オーバーレイ測定	2023年 7月24日
特表 2023-530629	基板ハンドリング用局所化パージモジュール	2023年 7月19日
特表 2023-530632	対角回折ベースのオーバーレイターゲットを測定するための計測システムおよび方法	2023年 7月19日
特表 2023-530266	積み重ねられた四ホウ酸ストロンチウム板を使用した周波数変換	2023年 7月14日
特表 2023-529050	位置ずれ測定値に対するウェハ傾斜の影響の補正のためのシステムおよび方法	2023年 7月 7日
特表 2023-528464	周期的位置ずれの一次元測定のための計測ターゲット	2023年 7月 4日
特表 2023-527995	埋込計量ターゲット用撮像システム	2023年 7月 3日
特表 2023-527715	品質管理専用ウェハを用いない半導体計測ツール群の整合	2023年 6月30日
特開 2023-90913	半導体デバイスの側面の検査装置	2023年 6月29日
特表 2023-526864	オーバーレイ計測ツールおよび方法	2023年 6月23日
特表 2023-525809	ウェハアライメントのためのシステム、方法、及びターゲット	2023年 6月19日
特表 2023-525584	光学対物レンズを回転させるための装置および方法	2023年 6月16日

104 件中 46-60 件を表示

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2023-533465 2023-533520 2023-531479 2023-531530 2023-530629 2023-530632 2023-530266 2023-529050 2023-528464 2023-527995 2023-527715 2023-90913 2023-526864 2023-525809 2023-525584

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